特許
J-GLOBAL ID：200903098656900550
写真画像形成の可能な液状レジスト
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-252277
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114917
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【課題】 光感受性と総合的な物性との良好なバランスを示す液状塗工レジストの提供。【解決手段】 主成分として、バインダー、多官能価モノマー、光重合開始剤及び溶剤を含むフォトレジスト組成物を使用する。
請求項（抜粋）：
a)バインダー、b)多官能価モノマー、c)光重合開始剤、及びc)溶剤を含むレジスト材料であって、溶剤を除いた材料の10重量%以上の量で光重合開始剤が存在する、前記レジスト材料。
IPC (2件)：
引用特許：
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