特許
J-GLOBAL ID：200903098887300670

自己較正機能を備える表面特性解析用システム

発明者：
ワン,ハイミング

ワン,ハイミング について

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マックストン,パトリック エム.

マックストン,パトリック エム. について

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ジョンソン,ケネス シー.

ジョンソン,ケネス シー. について

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ニコナハッド,メールダッド

ニコナハッド,メールダッド について


出願人/特許権者：
ケーエルエー-テンカー コーポレイション

ケーエルエー-テンカー コーポレイション について


代理人 (1件)： 井ノ口 壽
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-614020
公開番号（公開出願番号）：特表2002-543381
出願日： 2000年04月21日
公開日（公表日）： 2002年12月17日
要約：
【要約】照会用放射ビームが測定されるべき試料により変更される前および変更された後に、前記ビームの偏光を変調するために2つの位相変調器または偏光要素が用いられる。試料によりそのように変調および変更された放射が検出され、検出された信号から25までの高調波が導出し得る。25までの高調波は、固定偏光要素、円形減衰補償、偏光要素の偏光解消および位相変調器のリターダンスなどのエリプソメトリックパラメータおよびシステムパラメータを導出するために用い得る。放射の一部は、試料の傾きまたは試料高さの変化を検出するために転用し得る。円柱対物レンズは、試料上に集束して試料上の円形スポットを照明するために用い得る。上述の自己較正エリプソメータは、測定精度を改善するためおよび/または光学計測器に較正標準を提供するため、偏光計、分光反射率計または別のエリプソメータなどの別の光学計測器と組み合せ得る。自己較正エリプソメータならびに組合わせシステムは、膜厚および試料により引き起こされた放射の偏光解消さなどの試料特性を測定するために用い得る。
請求項（抜粋）：
試料を測定するための方法であって、 偏光された成分を有する放射のビームを提供し、かつ該ビームから前記試料へ放射を供給する段階と、 前記試料により変更された前記ビームからの放射を検出する段階と、 その検出の前に放射の前記ビームの前記偏光を変調する段階と、 前記試料の1つ以上のエリプソメトリックパラメータならびに前記変調の振幅についての制限なく前記提供、検出または変調段階において用いられるシステムの1つ以上のパラメータを導出する段階、とからなる方法。
IPC (9件)：
G01N 21/21 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/06 ,  G01B 11/26 ,  G01J 3/02 ,  G01J 3/447 ,  G01J 4/04 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/41
FI (10件)：
G01N 21/21 Z ,  G01B 11/00 G ,  G01B 11/06 G ,  G01B 11/26 G ,  G01J 3/02 C ,  G01J 3/447 ,  G01J 4/04 A ,  G01J 4/04 Z ,  G01N 21/27 B ,  G01N 21/41 Z
Fターム (94件)：
2F065AA01 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA30 ,  2F065AA31 ,  2F065AA35 ,  2F065BB01 ,  2F065BB17 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065DD19 ,  2F065FF48 ,  2F065FF61 ,  2F065GG03 ,  2F065GG05 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL08 ,  2F065LL19 ,  2F065LL26 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065MM04 ,  2F065MM15 ,  2F065MM25 ,  2F065MM28 ,  2F065NN08 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR05 ,  2F065UU07 ,  2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020AA05 ,  2G020BA02 ,  2G020BA17 ,  2G020BA18 ,  2G020CA15 ,  2G020CB04 ,  2G020CB33 ,  2G020CB42 ,  2G020CB43 ,  2G020CB44 ,  2G020CC02 ,  2G020CC26 ,  2G020CC29 ,  2G020CC30 ,  2G020CC47 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2G020CD12 ,  2G020CD15 ,  2G020CD24 ,  2G020CD32 ,  2G020CD35 ,  2G020CD36 ,  2G020CD37 ,  2G020CD61 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059BB16 ,  2G059CC01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059GG04 ,  2G059GG06 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK04
引用特許：
審査官引用 (2件)
引用文献：
審査官引用 (4件)
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