特許
J-GLOBAL ID：200903098932641041

アクリル系重合体および感放射線性樹脂組成物

発明者：
藤原 考一

藤原 考一 について

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山口 宙志

山口 宙志 について

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中村 敦

中村 敦 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-227547
公開番号（公開出願番号）：特開2005-068418
出願日： 2004年08月04日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】 レジスト溶剤への溶解性に優れ、ベーク温度依存性が少なく、また現像後のパターンのラインエッジラフネスを低減する。【解決手段】 式(1)と、式(2)と、式(3)および/または式(4)とを含有することを特徴とする。【化1】 R、R’、R''、およびR'''は水素原子、メチル基、またはトリフルオロメチル基を、R1は、水素原子、炭素数1〜4の直鎖状あるいは分岐状のアルキル基、アルコキシ基、または、炭素数1〜4の直鎖状あるいは分岐状のフッ素化アルキル基を、Xは炭素数7〜20の炭素原子および水素原子のみからなる多環型脂環式炭化水素基を、R2およびR3は相互に独立に炭素数1〜4の直鎖状または分岐状のアルキル基を、R4は炭素数4〜20の脂環式炭化水素基を、R5は炭素数1〜4の直鎖状または分岐状のアルキル基を、R6およびR7は水素原子、または炭素数1〜4の直鎖状または分岐状のアルキル基をそれぞれ表す。【選択図】 無
請求項（抜粋）：
式(1)で表される繰り返し単位(i)と、式(2)で表される繰り返し単位(ii)と、式(3)で表される繰り返し単位および式(4)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも一つの繰り返し単位(iii)を含む酸解離性基含有単位とを含有するアクリル系重合体。
IPC (4件)：
C08F220/10 ,  G03F7/033 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (4件)：
C08F220/10 ,  G03F7/033 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (36件)：
2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL26P ,  4J100AL26Q ,  4J100AL26R ,  4J100BA11P ,  4J100BA11R ,  4J100BC03R ,  4J100BC04R ,  4J100BC07Q ,  4J100BC07R ,  4J100BC08Q ,  4J100BC08R ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC12Q ,  4J100BC12R ,  4J100BC53P ,  4J100BC53R ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (3件)

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