特許
J-GLOBAL ID：200903099051099925
複素誘電率測定装置および複素誘電率測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鷲田 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-086702
公開番号（公開出願番号）：特開2007-263625
出願日： 2006年03月27日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】複雑な測定器具を必要とすることなく、小型かつ構造が単純な測定フィクスチャを用いて、薄い材料の複素誘電率をマイクロ波領域において高精度に測定すること。【解決手段】フィクスチャ110は、外部導体115の内径(φ=7mm)にぴったり収まる導電性ピストン117を有する上部セクション111と、先端が平らな導電性の固定ピン123(φ=3mm)を有する下部セクション113とからなる。ピストン117は、先端が平らであり、マイクロメータスピンドル119により所定の分解能(0.5μm)で出し入れ可能である。ピン123の先端は、外部導体125の終端面よりもわずかに(100〜200μm程度)突き出ている。試料1は、ピストン117とピン123の間に挿入される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
測定する試料が内部に配置されるフィクスチャと、
前記フィクスチャに電磁波を入力し、前記電磁波の入力に応答して前記フィクスチャから出力された電磁波を測定する電磁波生成解析手段と、
前記電磁波生成解析手段の測定結果に基づいて、前記試料の複素誘電率を算出する演算処理手段と、を有し、
前記フィクスチャは、
前記試料が載置される第1中心導体と、
前記第1中心導体の側面に対向して配置された第1外部導体と、
前記第1中心導体の終端面に対向しかつ軸方向に移動可能に配置される第2中心導体と、
前記第2中心導体を内部に収容し、前記第1外部導体の終端面と離接可能に接触する第2外部導体と、を有し、
前記試料は、前記第1中心導体と前記第2中心導体の間に接触配置される、
複素誘電率測定装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N22/00 Y
, G01N22/00 F
, G01R27/26 H
2G028BB05
, 2G028BC01
, 2G028BC03
, 2G028CG09
, 2G028DH14
, 2G028FK01
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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引用文献：
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