特許
J-GLOBAL ID：200903099142849072
加工装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-096992
公開番号（公開出願番号）：特開2005-286062
出願日： 2004年03月29日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】 モールドに降下したレジストが付着することを防止することによって、重ね合わせ精度、微細加工及び経済性に優れた加工装置を提供する。【解決手段】 凹凸のパターンを形成したモールドを、基板上のレジストに接触することによって前記レジストにパターンを転写する加工装置であって、前記レジストを前記基板と前記モールドとの間に供給する手段と、前記モールドを介して紫外線を前記レジストに照射して当該レジストを硬化させるための照明光学系とを有することを特徴とする加工装置を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
凹凸のパターンを形成したモールドを、基板上のレジストに接触することによって前記レジストにパターンを転写する加工装置であって、
前記レジストを前記基板と前記モールドとの間に供給する手段と、
前記モールドを介して紫外線を前記レジストに照射して当該レジストを硬化させるための照明光学系とを有することを特徴とする加工装置。
IPC (3件)：
H01L21/027
, B81C5/00
, G03F7/20
H01L21/30 502D
, B81C5/00
, G03F7/20 521
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
