特許
J-GLOBAL ID：200903099211197570

基板収納搬送容器

発明者：
清田 久晴

清田 久晴 について

, 
大橋 知範

大橋 知範 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について

, 
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-173438
公開番号（公開出願番号）：特開2005-353862
出願日： 2004年06月11日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【課題】クリーンルーム内で基板がエアー等に接触する環境のみを局所的清浄環境で用いられる基板収納搬送容器において、容器本体内における気流の乱れを有効に防止して、収納された基板の清浄度を高く維持し、その基板への自然酸化膜成長を抑制したりばらつきを低減し分子汚染等を防ぐ。【解決手段】 複数枚の基板5を一定間隔で積層収納する容器本体4と、その容器本体4の内気を循環させる空気循環手段と、前記容器本体4に積層収納された最上段の基板5aの上側または最下段の基板5bの下側の少なくとも一方にて前記空気循環手段が行う内気循環によって生じる空気の流れを、当該内気循環により前記一定間隔の間に生じる空気の流れと同等にするための整流化手段6とを備えて、基板収納搬送容器を構成する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数枚の基板を一定間隔で積層収納する容器本体と、 前記容器本体の内気を循環させる空気循環手段と、 前記容器本体に積層収納された最上段の基板の上側または最下段の基板の下側の少なくとも一方にて前記空気循環手段が行う内気循環によって生じる空気の流れを、当該内気循環により前記一定間隔の間に生じる空気の流れと同等にするための整流化手段と を備えることを特徴とする基板収納搬送容器。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  B65D85/86
FI (2件)：
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (19件)：
3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BA20 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA25 ,  3E096DA30 ,  3E096DB01 ,  3E096FA01 ,  3E096FA03 ,  3E096GA13 ,  3E096GA20 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031NA02 ,  5F031NA16
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM