特許
J-GLOBAL ID：200903099221251026
シリコンウェーハの製造方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-236255
公開番号（公開出願番号）：特開2007-053178
出願日： 2005年08月17日
公開日（公表日）： 2007年03月01日
要約：
【課題】従来必須の製造工程であった研削やラッピング等の平坦化工程を行うことなく高平坦化を達成し、生産性を向上し得る、シリコンウェーハの製造方法を提供する。【解決手段】単結晶インゴットをスライスして得られた単一のウェーハの表面へ供給ノズルによりエッチング液を供給し、ウェーハを回転させて供給したエッチング液を表面全体に拡げてエッチングする枚葉式酸エッチング工程12と、ウェーハの表裏面を研磨する研磨工程14とをこの順に含み、枚葉式エッチングに使用されるエッチング液が酸エッチング液であって、酸エッチング液がフッ酸、硝酸及びリン酸から構成され、フッ酸、硝酸及びリン酸が重量%でフッ酸:硝酸:リン酸=0.5〜40%:5〜50%:5〜70%の混合割合で含有した水溶液であることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶インゴットをスライスして得られた単一の薄円板状のシリコンウェーハの表面へ供給ノズルによりエッチング液を供給し、前記ウェーハを回転させることにより前記供給したエッチング液をウェーハ表面全体に拡げてエッチングする枚葉式エッチング工程(12)と、
前記シリコンウェーハの表面を研磨する研磨工程(14)と
をこの順に含み、
枚葉式エッチングに使用されるエッチング液が酸エッチング液であって、
前記酸エッチング液がフッ酸、硝酸及びリン酸から構成され、前記フッ酸、硝酸及びリン酸が重量%でフッ酸:硝酸:リン酸=0.5〜40%:5〜50%:5〜70%の混合割合で含有した水溶液である
ことを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
IPC (3件)：
H01L 21/306
, H01L 21/02
, H01L 21/304
H01L21/306 B
, H01L21/02 B
, H01L21/304 621E
5F043AA02
, 5F043BB02
, 5F043EE07
, 5F043EE08
, 5F043EE36
, 5F043FF07
