特許
J-GLOBAL ID：200903099274297664

感光性樹脂組成物

発明者：
小出村 順司

小出村 順司 について

, 
川原 耕平

川原 耕平 について


出願人/特許権者：
日本ゼオン株式会社

日本ゼオン株式会社 について


代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-100586
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296780
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：
【要約】【課題】 平坦性、耐熱性、透明性、耐薬品性等の諸性能に優れるとともに、脱ガス性が良く、低誘電性に優れ、微細なパターン状硬化膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 環状オレフィン系重合体と、溶解制御剤と、光酸発生剤と、架橋剤とを含有する感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
環状オレフィン系重合体と、溶解制御剤と、光酸発生剤と、架橋剤とを含有する感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  C08L 65/00 ,  C08L101/02 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  C08L 65/00 ,  C08L101/02 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (66件)：
2H025AA00 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC51 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096BA11 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  4J002BC022 ,  4J002BC122 ,  4J002BG012 ,  4J002BG072 ,  4J002BH022 ,  4J002BK001 ,  4J002BK002 ,  4J002CD003 ,  4J002CE001 ,  4J002CK023 ,  4J002EA048 ,  4J002ED056 ,  4J002EE036 ,  4J002EH007 ,  4J002EH078 ,  4J002EH126 ,  4J002EL028 ,  4J002EN137 ,  4J002EP007 ,  4J002EQ017 ,  4J002ER008 ,  4J002EU198 ,  4J002EV066 ,  4J002EV076 ,  4J002EV196 ,  4J002EV216 ,  4J002EV217 ,  4J002EV237 ,  4J002EV297 ,  4J002EW177 ,  4J002FD143 ,  4J002FD148 ,  4J002FD202 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002FD310 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ00 ,  4J002GQ01 ,  4J002GQ05
引用特許：
審査官引用 (5件)
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