特許
J-GLOBAL ID：200903099369241437

導電部材の吸着装置、吸着器、搭載装置、吸着方法及び搭載方法並びに半導体装置及びその製造方法

発明者：
塩澤 雅邦

塩澤 雅邦 について

, 
進藤 知幸

進藤 知幸 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-141199
公開番号（公開出願番号）：特開2001-060595
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：
【要約】【課題】 効率良く導電部材を吸着することができる導電部材の吸着装置、吸着器、搭載装置、吸着方法及び搭載方法並びに半導体装置及びその製造方法を提供することにある。【解決手段】 導電部材の吸着装置は、導電部材100を吸着する吸着部112を有する吸着器110と、力供給器120と、を有する。力供給器120は、吸着部112に1つの導電部材100が吸着されたときの吸着状態が維持される力であって、かつ、吸着部112に2つの導電部材100が吸着されたときに導電部材100の吸着状態を解除する力を加える。
請求項（抜粋）：
複数の導電部材を吸着する複数の吸着部を有し、それぞれの前記吸着部は、所定数の導電部材を吸着する力を超える吸着力を発生する吸着器と、1つの前記吸着部に前記所定数の前記導電部材が吸着されたときの吸着状態が維持される力であって、かつ、1つの前記吸着部に前記所定数を超える前記導電部材が吸着されたときに少なくとも1つの前記導電部材の吸着状態を解除する力を加える力供給器と、を有する導電部材の吸着装置。
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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