特許
J-GLOBAL ID：200903015422030959
ボ-ル転写方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116396
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012593
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 極めて高い精度で適正かつ的確にボール配列可能なボール転写方法および装置を提供する。【解決手段】 配列基板15のボール配列部にボールBを吸着することにより仮配列させた後、これらのボールBを接着あるいは接合すべき所定の対象部に位置合わせして転写する。配列基板15にボールBを仮配列させる工程で、そのボール配列面にガス流を吹きつけ、ボール配列部に適正に吸着されているボールB以外の余剰ボールB′を除去する。配列基板15に対して相対移動するガスノズル20から、ボール配列面にガス流を吹きつける。配列基板15のボール配列面に対して傾斜方向から、ガス流を吹きつけ、余剰ボールB′を除去させる。
請求項（抜粋）：
配列基板のボール配列部にボールを吸着することにより仮配列させた後、これらのボールを接着あるいは接合すべき所定の対象部に位置合わせして転写するボール転写方法であって、前記配列基板にボールを仮配列させる工程で、そのボール配列面にガス流を吹きつけ、前記ボール配列部に適正に吸着されているボール以外の余剰ボールを除去するようにしたことを特徴とするボール転写方法。
IPC (5件)：
H01L 21/60
, H01L 21/60 311
, B23K 1/00 330
, B23K 3/06
, H05K 3/34 505
H01L 21/92 604 H
, H01L 21/60 311 S
, B23K 1/00 330 E
, B23K 3/06 H
, H05K 3/34 505 A
