特許
J-GLOBAL ID：200903099422121651
ケースの受け渡し装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-219379
公開番号（公開出願番号）：特開2001-039537
出願日： 1999年08月03日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 薄板状の製品を収納したケースないし収納するためのケースを搬送し、クリーンルーム内とケースの受け渡しする際に、ゴミ発生が極めて少ないケース受け渡し装置を提供する。【解決手段】 ケースを収納してクリーンルーム外を搬送移動するコンテナで、外雰囲気に影響されない、高い密封性を有し、且つ、クリーンルーム内とケースの受け渡しを行うための第1のドア131を設けたコンテナ130と、クリーンルーム内とコンテナとの間でケースの受け渡しを行うために、クリーンルーム110の外部との境部に設けられ、ほぼ第1のドアと同じサイズ、形状を有する第2のドア111と、第1のドアを第2のドアにほぼ重なるように近づけた際に、第1のドアと第2のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を、密閉する第1の密閉機構150と、第1のドアと第2のドアの内側全周に渡り、第1のドアと第2のドアとの間を、密閉する第2の密閉機構155とを備える。
請求項（抜粋）：
フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケースないし収納するためのケースを、クリーンルーム内と外とで受け渡しする、ケース受け渡し装置であって、ケースを収納してクリーンルーム外を搬送移動するためのコンテナで、外雰囲気に影響されない、高い密封性を有し、且つ、クリーンルーム内とケースの受け渡しを行うための第1のドアを設けたコンテナと、クリーンルーム内と前記コンテナとの間でケースの受け渡しを行うために、クリーンルームの外部との境部に設けられ、ほぼ第1のドアと同じサイズ、形状を有する第2のドアと、第1のドアを第2のドアにほぼ重なるように近づけた際に、第1のドアと第2のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を、密閉する第1の密閉機構と、第1のドアと第2のドアの内側全周に渡り、第1のドアと第2のドアとの間を、密閉する第2の密閉機構とを備えており、ケースの受け渡しの際には、第1のドアを第2のドアにほぼ重なるように近づけ、第1の密閉機構により、第1のドアと第2のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を密閉した状態で、且つ、第2の密閉機構により、第1のドアと第2のドアの内側全周に渡り、第1のドアと第2のドアとの間を、密閉した状態で、第1のドアと、第2のドアとを一体化した状態で同時に開き、コンテナとクリーンルーム間で、ケースの受け渡しを行うものであることを特徴とするケース受け渡し装置。
IPC (5件)：
B65G 49/00
, B65G 1/00 521
, B65G 1/00 535
, B65G 49/07
, H01L 21/68
B65G 49/00 C
, B65G 1/00 521 D
, B65G 1/00 535
, B65G 49/07 L
, H01L 21/68 A
, H01L 21/68 T
3F022AA08
, 3F022BB08
, 3F022BB09
, 3F022EE09
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031CA07
, 5F031DA09
, 5F031EA20
, 5F031FA03
, 5F031NA02
, 5F031NA09
, 5F031NA10
, 5F031NA18
, 5F031PA26
