特許
J-GLOBAL ID：200903099481204196

標本の表面構造の検査および/または変更の方法

発明者：
ブレンガー ヴィルヘルム

ブレンガー ヴィルヘルム について


出願人/特許権者：
フラウンホーファー-ゲゼルシャフト・ツール・フェルデルング・デル・アンゲヴァンテン・フォルシュング・アインゲトラーゲネル・フェライン

フラウンホーファー-ゲゼルシャフト・ツール・フェルデルング・デル・アンゲヴァンテン・フォルシュング・アインゲトラーゲネル・フェライン について


代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-581672
公開番号（公開出願番号）：特表2002-529902
出願日： 1999年10月25日
公開日（公表日）： 2002年09月10日
要約：
【要約】標本(14)の表面構造上に衝突するビーム(11)の手段で標本(14)の表面構造を検査する方法または標本(14)の表面構造を変更する方法において、ガスは不連続に、好ましくはパルス状のモードで、標本(14)の表面構造上の少なくともビーム(11)の衝突領域(13)に供給される。
請求項（抜粋）：
ガスが標本の表面構造上の少なくともビームの衝突領域に供給される場合の、標本の表面構造に衝突するビームの手段で標本の表面構造を検査及び/または変更する方法であって、 ガスは不連続に供給されることを特徴とする方法。
IPC (4件)：
H01J 37/20 ,  G01N 1/28 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/28
FI (5件)：
H01J 37/20 F ,  H01J 37/20 H ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/28 B ,  G01N 1/28 F
Fターム (26件)：
2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA07 ,  2G001GA03 ,  2G001GA06 ,  2G001KA20 ,  2G001LA01 ,  2G001LA06 ,  2G001PA07 ,  2G001RA02 ,  2G001RA04 ,  2G001RA08 ,  2G001RA20 ,  2G052AA28 ,  2G052EC16 ,  2G052EC17 ,  2G052EC18 ,  2G052FD06 ,  2G052GA35 ,  5C001BB03 ,  5C001CC08 ,  5C033FF10 ,  5C033JJ07 ,  5C033MM07 ,  5C033UU03
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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