特許
J-GLOBAL ID：200903099520555970
ウェーハの平面加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-117338
公開番号（公開出願番号）：特開平11-309664
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】ウェーハの平面を加工する平面加工装置においてウェーハの加工精度を向上させる。【解決手段】本発明は、適宜制御された圧力でウェーハ26とカップ型砥石64とを相対的に押圧するエアシリンダ装置94を仕上げ研削ステージ20に設けた。このエアシリンダ装置94を駆動して、ウェーハ26とカップ型砥石64とを、制御された圧力で押圧しながらウェーハ26を研削する。これにより、ねじ送り装置では達成することが困難な微小送りによる研削が可能になるので、ウェーハ26の加工精度が向上する。
請求項（抜粋）：
ウェーハを保持したテーブルと、該ウェーハを加工する砥石若しくは研磨布とを送り手段によって相対的に近づく方向に移動させることにより砥石若しくは研磨布とウェーハとを押し当てると共に、砥石若しくは研磨布とウェーハとを相対的に回転させてウェーハを加工するウェーハの平面加工装置において、適宜制御された圧力で前記砥石若しくは研磨布と前記ウェーハとを相対的に押圧する押圧手段を設けたことを特徴とするウェーハの平面加工装置。
IPC (6件)：
B24B 37/00
, B24B 37/04
, H01L 21/304 621
, H01L 21/304
, H01L 21/304 622
, H01L 21/304 631
B24B 37/00 B
, B24B 37/04 D
, H01L 21/304 621 C
, H01L 21/304 621 D
, H01L 21/304 622 K
, H01L 21/304 631
