単結晶の製造装置および製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：舘野公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-327578
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158091
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】チョクラルスキー法による単結晶引き上げ装置において、原料結晶加熱用ヒーターの熱効率およびルツボの耐久性を高めるとともに、高品質の単結晶を安定して製造する。【解決手段】遮熱板13および整流筒8を、単結晶引き上げ用の昇降装置14に係脱可能に設け、遮熱板は整流筒内の下方部に挿入した状態で整流筒および種結晶保持具10と一体的に昇降装置により昇降可能とする。整流筒は昇降装置から取り外して、ルツボ直上に設けた係止用リング7aに係止可能とする。単結晶製造に際し、原料結晶Rの溶融中には遮熱板および整流筒を原料結晶の直上に下降させてこれを被い、溶融完了後には整流筒をチャンバー内に残して単結晶の引き上げを行う。

請求項（抜粋）：

原料結晶を溶融して融液を形成するためのルツボと、原料結晶を加熱するためのヒーターとがチャンバー内に設けられ、成長中の単結晶を囲繞できるようにルツボの上方に鉛直方向に設けられた不活性ガス供給用の整流筒と、種結晶保持具と、該種結晶保持具を昇降させるための昇降装置とを備え、前記整流筒内に不活性ガスを下向流で流過させてルツボの直上に供給するようにしたチョクラルスキー法よる単結晶引き上げ装置において、遮熱板および前記整流筒が前記昇降装置に係脱可能に設けられ、前記遮熱板は整流筒内の下方部に挿入された状態で該整流筒および種結晶保持具と一体的に前記昇降装置により昇降可能とされ、前記整流筒は前記昇降装置から取り外して、チャンバー首部に設けられた整流筒固定用部材に係止可能とされていることを特徴とする単結晶の製造装置。

IPC (3件)：

C30B 15/20 , C30B 29/06 502 , H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 15/20 , C30B 29/06 502 C , H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-193694
特開平4-228492
単結晶引上装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-054235 出願人：株式会社東芝

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