特許
J-GLOBAL ID：200903099548263753

基板の吸着方法および吸着装置

発明者：
藤澤 晋一

藤澤 晋一 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-020929
公開番号（公開出願番号）：特開2008-187098
出願日： 2007年01月31日
公開日（公表日）： 2008年08月14日
要約：
【課題】特異形状の基板を、一般的な吸着テーブルを使用しながらも、十分な吸引力、かつ低コストで吸着、保持することを可能とする。【解決手段】通気性を有さないチャックテーブル31の裏面に、外周部を残して凹所35を形成し、凹所35の底面から表面の保持面33にわたって、厚さ方向のみに連通する多数の通気部材36を埋設し、吸着エリアを形成する。凹所35に、保持する基板W1と同寸・同形状の孔51aが形成された目張り部材51aを嵌合して底面に密着させ、基板W1の非載置領域33aに存在する通気部材36を塞ぐ。この状態でチャックテーブル31の裏面側を真空引きし、基板W1のみに対して真空引き作用を生じさせる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板を吸着して保持する保持面、および該保持面に対応する裏面を有するとともに、裏面から保持面にわたって複数の真空引き通路が貫通形成された吸着テーブルの保持面に該保持面よりも小さい基板を載置し、 前記基板が載置されていない前記保持面の非載置領域に対応する前記吸着テーブルにおける前記裏面領域を目張り部材で被覆し、 前記吸着テーブルの裏面側を真空引きすることを特徴とする基板の吸着方法。
IPC (6件)：
H01L 21/683 ,  B24B 37/04 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/301 ,  B23Q 3/08
FI (6件)：
H01L21/68 P ,  B24B37/04 H ,  B24B41/06 L ,  H01L21/304 622H ,  H01L21/78 N ,  B23Q3/08 A
Fターム (17件)：
3C016AA01 ,  3C016DA01 ,  3C016DA11 ,  3C034AA13 ,  3C034BB73 ,  3C034BB75 ,  3C034DD10 ,  3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CB07 ,  3C058DA17 ,  5F031CA02 ,  5F031HA13 ,  5F031MA22 ,  5F031MA34 ,  5F031PA16 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 吸着固定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-080757   出願人：株式会社ディスコ
  • ウェーハの研磨方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-111145   出願人：株式会社ディスコ
審査官引用 (1件)
  • リソグラフ装置の基板ホルダ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-072318   出願人：エイエスエムリトグラフィーベスローテンフエンノートシャップ

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