特許
J-GLOBAL ID:200903099583873610
膜状微粒子構造体の製造方法および該製造方法により製造された膜状微粒子構造体、ならびに該膜状微粒子構造体を用いた光学素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
渡邉 昌幸
, 磯村 雅俊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-148893
公開番号(公開出願番号):特開2006-330013
出願日: 2005年05月23日
公開日(公表日): 2006年12月07日
要約:
【課題】 粒子層数が数層以上の膜厚においても、微粒子構造体の基板面内での方向および面方位を制御し、{111}配向以外の面心立方構造を有する微粒子構造体を形成することができる膜状微粒子構造体の製造方法を提供すること。【解決手段】 表面にエッチピット処理を施した二枚の単結晶(Si)基板801を作製する工程と、作製した二枚の単結晶基板801で平行にはさまれた微小空間808に球形状単分散微粒子分散液803を充填し、球形状単分散微粒子分散液803中の微粒子が周期的に配列したコロイド結晶からなる微粒子構造体807を形成する工程を有する。またさらに、コロイド結晶からなる微粒子構造体807から分散媒を蒸発させ(806)、オパール結晶からなる微粒子構造体807を形成する工程を有する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
表面にエッチピット処理を施した二枚の単結晶基板1、2を作製する工程と、該工程で作製した二枚の単結晶基板1、2により平行にはさまれた空間に球形状単分散微粒子分散液を充填し、球形状単分散微粒子分散液中の微粒子が周期的に配列したコロイド結晶からなる微粒子構造体を形成する工程を有することを特徴とする膜状微粒子構造体の製造方法。
IPC (3件):
G02B 1/02
, B01J 19/00
, B82B 3/00
FI (3件):
G02B1/02
, B01J19/00 N
, B82B3/00
Fターム (12件):
4G075AA27
, 4G075BB02
, 4G075BB04
, 4G075BB08
, 4G075DA02
, 4G075EB01
, 4G075EC11
, 4G075EE12
, 4G075FA01
, 4G075FA05
, 4G075FA08
, 4G075FA12
引用特許:
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