特許
J-GLOBAL ID:200903099611014220

チップ吸着用ノズル、チップの実装体及びチップの実装方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-120422
公開番号(公開出願番号):特開2003-318204
出願日: 2002年04月23日
公開日(公表日): 2003年11月07日
要約:
【要約】【課題】 薄型のチップを下凸状に変形させてアイランドに実装できるチップ吸着用ノズルおよびチップの実装体を提供すること。【解決手段】 チップを真空吸着して実装対象物に実装するためのチップ吸着用ノズルであって、下端面の吸着孔24の外方に第1の突起25を突設し、且つ第1の突起25と吸着孔24の間に第1の突起25よりも下方へ突出する第2の突起26を設けることにより、チップ15を下凸状に変形させて真空吸着するようにした。
請求項(抜粋):
チップを真空吸着して実装対象物に実装するためのチップ吸着用ノズルであって、下端面の吸着孔の外方に第1の突起を突設し、且つ第1の突起と吸着孔の間に第1の突起よりも下方へ突出する第2の突起を設けることにより、チップを下凸状に変形させて真空吸着するようにしたことを特徴とするチップ吸着用ノズル。
IPC (4件):
H01L 21/52 ,  H01L 25/065 ,  H01L 25/07 ,  H01L 25/18
FI (2件):
H01L 21/52 F ,  H01L 25/08 Z
Fターム (4件):
5F047BA21 ,  5F047BB11 ,  5F047FA08 ,  5F047FA22
引用特許:
審査官引用 (3件)

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