特許
J-GLOBAL ID：200903099625748390

製造装置

発明者：
山崎 舜平

山崎 舜平 について

, 
瀬尾 哲史

瀬尾 哲史 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-208955
公開番号（公開出願番号）：特開2006-028583
出願日： 2004年07月15日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】 赤、緑、青の発光色を用いるフルカラーのフラットパネルディスプレイを作製する場合において、EL材料の利用効率を高めることによって製造コストを削減し、且つ、EL層成膜の均一性やスループットの優れた製造装置の一つである蒸着装置を備えた製造装置を提供する。【解決手段】本発明は、所望の蒸着領域に対して小さい開口を有するマスクを用い、該マスクを精密に移動させることによって、所望の蒸着領域全体に蒸着を行うことを特徴の一つとしている。また、マスクを移動させることに限定されず、マスクと基板とが相対的に移動すればよく、例えば、マスクを固定して基板をμmレベルで移動させてもよい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ロード室、該ロード室に連結された搬送室、および該搬送室に連結された成膜室とを有する製造装置であり、 前記成膜室は、前記成膜室内を真空にする真空排気処理室と連結され、 基板を固定する基板移動手段と、 前記成膜室内でマスクを基板の一辺に対してX方向またはY方向に移動させるマスク移動手段と、 マスクと基板の位置合わせを行う撮像手段と、 基板およびマスクの下方に蒸着源と、該蒸着源を移動させる手段とを有することを特徴とする製造装置。
IPC (1件)：
C23C 14/24
FI (1件)：
C23C14/24 G
Fターム (14件)：
3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029DB23 ,  4K029HA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04 ,  4K029JA05 ,  4K029KA01 ,  4K029KA09
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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