マイクロマシンプロセスにより製造された超音波振動子、超音波振動子装置、その体腔内超音波診断装置、及びその制御方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大菅義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-057122
公開番号（公開出願番号）：特開2007-229328
出願日： 2006年03月03日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

【課題】 cMUTとpMUTとを組み合わせた超音波振動子を提供する。【解決手段】マイクロマシンプロセスを用いて製造される超音波振動子は、超音波を送信させるための制御信号が入力される第1の電極と、前記第1の電極が形成されている基板と、前記第1の電極と所定の空間を隔てて対向している接地電極である第2の電極と、前記第2の電極が積層され、前記第1及び第2の電極間に電圧が印加されることにより振動して前記超音波を発生させるメンブレンと、前記メンブレンと接している圧電膜と、前記圧電膜と導通している第3の電極とを備えることにより、上記課題の解決を図る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

マイクロマシンプロセスを用いて製造される超音波振動子であって、超音波を送信させるための制御信号が入力される第1の電極と、前記第1の電極が形成されている基板と、前記第1の電極と所定の空間を隔てて対向している接地電極である第2の電極と、前記第2の電極が形成され、前記第1及び第2の電極間に電圧が印加されることにより振動して前記超音波を発生させるメンブレンと、前記メンブレンと接している圧電膜と、前記圧電膜と導通している第3の電極と、を備えることを特徴とする超音波振動子。

IPC (4件)：

A61B 8/12 , G01N 29/24 , H04R 3/00 , H04R 17/00

FI (5件)：

A61B8/12 , G01N29/24 , H04R3/00 330 , H04R17/00 330H , H04R17/00 332Y

Fターム (38件)：

2G047AC13 , 2G047BA03 , 2G047BC13 , 2G047EA05 , 2G047EA15 , 2G047GA02 , 2G047GB21 , 2G047GB34 , 2G047GB35 , 2G047GF06 , 2G047GF10 , 2G047GG29 , 4C601BB02 , 4C601EE03 , 4C601EE13 , 4C601FE01 , 4C601FE03 , 4C601FE04 , 4C601FE07 , 4C601GA03 , 4C601GB15 , 4C601GB19 , 4C601GB20 , 4C601GB22 , 4C601GB43 , 4C601GB44 , 4C601HH02 , 4C601JB31 , 4C601JB37 , 4C601JB45 , 5D019AA21 , 5D019BB01 , 5D019BB09 , 5D019BB17 , 5D019BB25 , 5D019BB29 , 5D019EE06 , 5D019FF04

引用特許：

出願人引用 (8件)

マイクロ圧電振動子とその製造方法及びマイクロ圧電振動子モジュールとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-060741 出願人：オリンパス光学工業株式会社
マイクロ圧電振動子、その製法及び圧電トランスデューサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-071880 出願人：オリンパス光学工業株式会社
超微細加工超音波トランスデューサを用いたモザイク型アレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-061534 出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

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