特許
J-GLOBAL ID:200903099675468402
走査型プローブ顕微鏡用プローブ及びそのプローブの作製方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
西村 竜平
, 佐藤 明子
, 齊藤 真大
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-099728
公開番号(公開出願番号):特開2009-276344
出願日: 2009年04月16日
公開日(公表日): 2009年11月26日
要約:
【課題】ブローブ開口部への金属微粒子の付着程度を容易に制御することができるプローブの作製方法及びその方法を用いて作製されたプローブを提供する。【解決手段】光を射出することが可能な開口部を有するプローブ基体2を、金属元素を含有する感光性の液体に浸漬する浸漬工程と、前記金属元素を含有する感光性の液体に前記プローブ基体2を浸漬した状態で、前記プローブ基体2の開口部から光を射出して光反応により金属粒子を生成する発光工程と、を備えているようにした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光を射出することが可能な開口部を有するプローブ基体を、金属元素を含有する感光性の液体に浸漬する浸漬工程と、
前記金属元素を含有する感光性の液体に前記プローブ基体を浸漬した状態で、前記プローブ基体の開口部から光を射出して光反応により金属粒子を生成する発光工程と、を備えていて、
前記開口部に金属粒子が付着しているプローブを作製することを特徴とするプローブの作製方法。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
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