特許

J-GLOBAL ID：200903099854376359

ナノカーボンの製造方法及びその方法を用いて製造されたナノカーボン、ナノカーボンの製造装置、ナノカーボンのパターン化方法及びその方法を用いてパターン化されたナノカーボン基材及びそのパターン化されたナノカーボン基材を用いた電子放出源

発明者： 滝川 浩史 ,  日比 美彦 ,  伊藤 茂生
出願人/特許権者： 双葉電子工業株式会社 ,  滝川 浩史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-353793
公開番号（公開出願番号）：特開2002-220215
出願日： 2001年11月19日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】プロセス容器等を必ずしも必要とせず、溶接用アークトーチ若しくは類似した構造を持つ装置を用いたアーク放電によって、黒鉛を主成分とした被アーク材の表面を瞬時にしてナノカーボンに変形させ、電子放出源を作成するための方法を提供し、その製造装置を提供する。更に、被アーク材表面の一部若しくは部分的にナノカーボンに変形させ、パターンニングされた電子放出源を製造する方法を提供し、その製造装置を提供する。【解決手段】第1電極であるアークトーチ1のトーチ電極10と、第2電極である黒鉛板を用いた被アーク材2を、大気中で対向配置する。トーチ電極10と被アーク材2との間に電位を印加してアーク放電を発生させる。被アーク材2の所定領域の黒鉛をアーク放電により、ナノカーボンに変える。

請求項（抜粋）：

第1電極と、炭素材料を主成分とする第2電極を、大気中で対向配置する工程と、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加してアーク放電を発生させる工程と、前記第2電極の所定領域の炭素材料を前記アーク放電によりナノカーボンに変える工程を備えたことを特徴とするナノカーボンの製造方法。

IPC (3件)：

C01B 31/02 101 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04

FI (3件)：

C01B 31/02 101 F ,  H01J 9/02 B ,  H01J 29/04

Fターム (6件)：

4G046CA00 ,  4G046CB01 ,  4G046CC09 ,  4G046CC10 ,  5C031DD17 ,  5C031DD19

引用特許：

審査官引用 (3件)

• カ-ボンナノチュ-ブの製造方法および製造用触媒
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-205447   出願人：昭和電工株式会社
• カーボンナノチューブの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-172242   出願人：日本電気株式会社
• 電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-249096   出願人：株式会社東芝