特許
J-GLOBAL ID：200903099906680507

エッチング方法

発明者：
立岩 健二

立岩 健二 について


出願人/特許権者：
松下電子工業株式会社

松下電子工業株式会社 について


代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-141304
公開番号（公開出願番号）：特開平9-326382
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】【課題】 エッチング開口面積をエッチング処理条件に反映させ、エッチング開口面積に対応した最適なエッチングを行う。【解決手段】 レジストの寸法測定値を基にしてエッチングパラメータもしくはエッチング時間を決定してエッチングを行う。【効果】 レジストの寸法測定値を基にしてエッチングパラメータもしくはエッチング時間を決定するので、レジスト寸法測定値をエッチング処理条件に反映させることができ、レジスト寸法に対応した最適なエッチングを行うことができる。
請求項（抜粋）：
レジストの寸法測定値を基にしてエッチングパラメータもしくはエッチング時間を決定してエッチングを行うことを特徴とするエッチング方法。
IPC (2件)：
H01L 21/3065 ,  C23F 4/00
FI (3件)：
H01L 21/302 J ,  C23F 4/00 A ,  C23F 4/00 F
引用特許：
審査官引用 (5件)
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