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J-GLOBAL ID：201002204598505184   整理番号：10A0106297

光学的手法による表面形状の高解像度・広範囲測定システムの開発

著者 (2件)： 上月具挙 (広島国際大 工) ,  上田正紘 (福井大 教育地域科学)
資料名： 日本設計工学会研究発表講演会講演論文集  (日本設計工学会大会研究発表講演会講演論文集)
巻： 2009  号： 秋季  ページ： 119-122  発行年： 2009年 
JST資料番号： S0899A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 高分解能 ,  範囲 ,  *計測システム ,  計測 ,  周波数 ,  技術 ,  ウエハ【IC】 ,  パネル ,  ハイブリッドシステム ,  *表面形状
準シソーラス用語： nm測定サブシステム ,  μm測定サブシステム ,  フラットパネル ,  リアルタイム測定法 ,  凹凸測定 ,  光学的手法 ,  広範囲 ,  高レンジ測定法 ,  高解像度 ,  測定周波数

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (5件)：

• キーエンス社. キーエンス社, 2004総合カタログ. 2004, 694
• KOZUKI, Tomotaka. The Review of Laser Engineering. 2004, 32, 10, 648
• 上月具挙. レーザー学会第332回研究会報告「レーザー計測その他」. 2005, RTM-05-05, 1
• レーザーテック社. レーザーテック社, 2003年カタログ. 2003
• 上田正紘. レーザー研究. 1993, 21, 12, 42

タイトルに関連する用語 (6件)： 光学 ,  手法 ,  表面形状 ,  高解像度 ,  測定システム ,  開発