抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ハードディスク装置(HDD)や半導体露光装置などの高速/高精度の位置決め制御技術が必要な装置は,現在ナノスケールの精度が要求されている。さらに,HDDなどでは,記憶容量の増大やデータの読み書きの高速化が要求されている。高速高精度の位置決め制御を実現するためには,摩擦や振動,センサノイズなどの多くの外乱に関する問題を解決する必要があり,モデルによる摩擦補償の研究が数多く行われてきている。本稿では,LuGreモデルを用いた摩擦補償器による高精度位置制御系の一構成法を提案した。LuGreモデルに基づく時変外乱オブザーバと,LuGreモデルと1型外乱オブザーバとを併用した摩擦オブザーバの2つの摩擦補償器を考え,それぞれを用いて制御系を設計し,摩擦に起因するリミットサイクルが発生するシステムに対する位置決め制御シミュレーションを行い,その有効性を示した。