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J-GLOBAL ID：201002228741628582   整理番号：10A1127524

N₂-O₂マイクロ波放電プラズマ中の窒素および酸素の解離度のアクチノメトリー測定

Actinometry Measurement of Dissociation Degrees of Nitrogen and Oxygen in N₂-O₂ Microwave Discharge Plasma

著者 (5件)： ICHIKAWA Yosuke (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  SAKAMOTO Takeshi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  NEZU Atsushi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  MATSUURA Haruaki (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  AKATSUKA Hiroshi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 10  ページ： 106101.1-106101.16  発行年： 2010年10月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 内径26mmの円筒石英管中で放電圧力0.5-1.0Torr,マイクロ波出力600Wの窒素-酸素混合マイクロ波放電プラズマ中のN₂およびO₂の解離度をアクチノメトリー法で調べた。電子温度と密度はラングミュアープローブで測定し,N₂の第一および第二ポジテイブバンドの回転および振動温度は発光分光分析で行った。解離度が低くて窒素原子のライン強度が弱く,部分的に第一ポジテイブ系の高強度バンドスペクトルと重なっても,回転および振動温度の関数として計算した第一バンドスペクトルを実験的に観測したスペクトルから差し引くことにより,アクチノメトリー法は実行可能であった。N₂-O₂混合放電ガスの全圧を一定に保ったまま,窒素のモル比を増加させるとN₂およびO₂両方の解離度は増加した。実験結果をプラズマ中の化学動力学に基づく簡単な数値モデルと比較して議論した。酸素分子の解離は励起窒素分子,とくに準安定状態にある窒素分子との衝突により促進されるが,窒素分子の解離度は酸素分子と混合した場合,窒素原子の化学クエンチングプロセスにより抑えれらることが見出された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロ波放電 ,  *プラズマ ,  *窒素 ,  *酸素 ,  *Langmuir探針 ,  *解離定数 ,  衝突誘起解離 ,  電子温度 ,  密度 ,  *計測
準シソーラス用語： 放電プラズマ ,  Langmuirプローブ ,  アクチノメトリ-法

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (60件)：

• A. Fridman: Plasma Chemistry (Cambridge University Press, New York, 2008).
• R. d’Agostino, P. Favia, Y. Kawai, H. Ikegami, N. Sato, and F. ArefiKhonsari: Advanced Plasma Technology (Wiley-VCH, Weinheim, 2008).
• A. Ricard, V. Monna, and M. Mozetic: Surf. Coat. Technol.174(2003)905.
• A. Kaňka, O. Kylián, and V. Hrachová: Vacuum 67(2002)415.
• H. Kobori, S. Koike, S. Watanabe, M. Matsuzaki, H. Matsuura, and H. Akatsuka: Thin Solid Films 457(2004)69.

タイトルに関連する用語 (6件)： N2 ,  O2 ,  マイクロ波放電 ,  プラズマ ,  窒素 ,  酸素