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J-GLOBAL ID：201002230116925344   整理番号：10A1136067

CF₄/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電の発光分光特性

Optical emission spectroscopy of atmospheric pressure dielectric barrier discharges in CF₄/noble gas mixtures

著者 (5件)： 井出存 (首都大学東京) ,  出原慎 (首都大学東京) ,  白井直機 (首都大学東京) ,  内田諭 (首都大学東京) ,  栃久保文嘉 (首都大学東京)
資料名： 電気学会パルスパワー研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PPT-10  号： 72-82.84  ページ： 25-30  発行年： 2010年10月21日 
JST資料番号： L4030A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 同軸円筒型誘電体バリア放電によって,希ガス/CF₄混合ガスのプラズマを生成し,ガス流れ方向であるプラズマ上流部から下流部へ至る各種発光の空間分布を詳細に調査した。混合ガスとしては,He/CF₄(1%),Ar/CF₄(1%),Ar/He/CF₄(1%)を主に用いた。

シソーラス用語： *無声放電 ,  電気特性 ,  *発光分析 ,  希ガス ,  混合気体
準シソーラス用語： *バリア放電 ,  *誘電体バリア放電

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

引用文献 (15件)：

• S. Futamura, H. Einaga, and A. Zhang: “Comparison of reactor performance in the nonthermal plasma chemical processing of hazardous air pollutants”, IEEE Trans. Ind. Appl. Vol.37, No.4, pp. 978-985(2001)
• B. K. Na, J. W. Choi, H. Lee, and H. K. Song“Decomposition of tetrafluorocarbon in dielectric barrier discharge reactor”, Korean J. Chem. Eng., Vol.19, No.6, pp. 917-920(2002)
• J. Y. Park, J. G. Jung, J. K. Kim, G. H. Rim, and K. S. Kim, “Effect of nonthermal plasma reactor for CF, decomposition”, IEEE Trans. Plasma Sci. Vol.31, No.6, pp. 1349-1354(2003)
• J. W. Sun and D. W. Park: “CF₄ decomposition by thermal plasma processing”, Korean J. Chem. Eng., Vol.20, No.3, pp. 476-481(2003)
• A. Ogata, H-H. Kim, S. Futamura, S. Kushiyama, and K. Mizuno: “Effects of catalysts and additives on fluorocarbon removal with surface discharge plasma”, Applied Catalysis B, Vol.53, pp. 175-180(2004)

タイトルに関連する用語 (4件)： 希ガス ,  混合気体 ,  大気圧誘電体バリア放電 ,  分光特性