抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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GFRP製の多層プリント基板のCuダイレクト加工を対象にして,高速度カメラを用いてマイクロ穴レーザ加工プロセスを可視化して除去プロセスを明らかにした。すなわち,まず外層銅箔が溶融し加工され,次に絶縁層にレーザが照射されて温度上昇する。このときエポキシ樹脂は熱分解して気体化する一方でガラスは高温のまま存在する。気体化したエポキシ樹脂が穴の外へ噴出する際にガラスを吹飛ばして穴が形成される。本結果を踏まえて,穴品質向上を目的に絶縁層材に水酸化アルミをフィラーとして添加した基板を試作し,その効果を評価した結果,オーバハング長さの抑制と基板表面付着の量の低減を両立できた。(著者抄録)