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J-GLOBAL ID：201002246658314710   整理番号：10A0366304

青色マルチレーザダイオードアニーリングにより形成した先端的微小多結晶珪素膜

Advanced Micro-Polycrystalline Silicon Films Formed by Blue-Multi-Laser-Diode Annealing

著者 (8件)： NOGUCHI Takashi (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  CHEN Yi (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  MIYAHIRA Tomoyuki (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  DE DIEU MUGIRANEZA Jean (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  OGINO Yoshiaki (Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  IIDA Yasuhiro (Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  SAHOTA Eiji (Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  TERAO Motoyasu (Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 3,Issue 2  ページ： 03CA10.1-03CA10.3  発行年： 2010年03月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質Si膜に半導体青色マルチレーザダイオードアニーリング(BLDA)を適用し,薄膜トランジスタ(TFT)に用いられる低温多結晶珪素(LTPS)工程と同じ均一多結晶珪素結晶粒を含む膜を得た。BLDA装置の445nm波長の連続波モードを適用して,厚み50nmの薄い非晶質珪素膜に光線を効率的に吸収させ,安定に結晶化させた。ビーム形状を制御しレーザ出力を<6Wに調節するだけで,走査速度を500mm/sに固定して,均一な微結晶粒から任意の結晶粒径の多結晶相まで等方的Si結晶粒が再現性良く得られた。電子顕微鏡と原子間力顕微鏡(AFM)による解析の結果,均一に分布した表面が滑らかな微小多結晶Si結晶粒を<5Wの出力条件で観測し,(111)面の優先結晶配向を確認した。レーザ出力を制御するだけで任意の結晶粒径が安定かつ再現性良く得られるので,BLDAはガラス上のシステム(SoG)を含めAM OLEDパネル用の次世代LTPS工程として有望である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 半導体レーザ ,  *レーザアニーリング ,  アモルファスシリコン ,  薄膜トランジスタ ,  結晶粒 ,  結晶化 ,  レーザ出力 ,  電子顕微鏡観察 ,  *ポリシリコン ,  *半導体薄膜
準シソーラス用語： *多結晶珪素 ,  非晶質ケイ素

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

引用文献 (10件)：

• T. Noguchi, D. Y. Kim, J. Y. Kwon, K. B. Park, J. S. Jung, W. X. Xianyu, H. X. Yin, and H. S. Cho: Mater. Res. Soc. Symp. Proc.814(2004)11.4.
• Dig. Tech. Pap. AM LCD’01, 2001, pp. 71-88.
• T. Kaitoh, T. Miyazawa, H. Miyake, T. Noda, T. Sakai, Y. Owaku, and T. Saitoh: Proc. IDW07, 2007, p. 481.
• K. Kandoussi, I. Souleiman, K. Belarbi, R. Cherfi, C. Simon, N. Coulon, and T. Mohamed-Brehim: Tech. Dig. AM FPD’09, 2009, p. 207.
• K. Tatsuki, T. Arai, N. Umezu, K. Shirai, Y. Inagaki, and T. Urabe: Dig. Tech. Pap. AM-FPD’08, 2008, S-11, p. 109.

タイトルに関連する用語 (3件)： 青色 ,  微小 ,  多結晶珪素膜