文献

J-GLOBAL ID：201002249891316233   整理番号：10A1043673

WLF則がガラスインプリント解析に与える影響の検討

Deliberation of Effect to Glass Imprinting Analysis by Williams-Landel-Ferry Equation

著者 (8件)： 安井学 (神奈川県産業技術センター) ,  荒井政大 (信州大学工学部) ,  高橋正春 (独立行政法人産業技術総合研究所) ,  伊藤寛明 (信州大学工学部) ,  井野友博 (信州大学工学部) ,  金子智 (神奈川県産業技術センター) ,  平林康男 (神奈川県産業技術センター) ,  前田龍太郎 (独立行政法人産業技術総合研究所)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 130  号： 10  ページ： 484-488 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細加工技術のナノインプリントに関連して,ガラスによるインプリントのインプリント条件確定の問題を論じた。数値解析ソフトMems-ONEによるガラスインプリント解析で,高温側でWLF(Williams-Landel-Ferry)則の定数を設定することにより実験値の解析精度を向上できることを示した。ガラスの粘弾性特性の導出について述べ,MEMS基板ガラスのホウケイ酸ガラスD263を対象として,粘弾性特性の導出,実験結果を示した。解析結果とインプリント結果の比較を示し,成型温度に近い高温側でD263のマスタカーブを平行移動させることにより,実験値と解析値が一致することを示した。

シソーラス用語： *押付成形 ,  *微細加工 ,  ホウケイ酸ガラス ,  熱粘弾性 ,  数値解析 ,  加工条件 ,  MEMS ,  マイクロマシニング
準シソーラス用語： ナノインプリント

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• CHOU, S. Y. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3114
• MORIHARA, D. MNC08. 2008, 420-421
• ONISHI, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 2008, 47, 5145
• TAKAHASHI, M. Nanoimprint of Glass Materials with Glassy Carbon Molds Fabricated by Focused-Ion-Beam Etching. Japanese Journal of Applied Physics. 2005, 44, 7, 5600-5605
• YASUI, M. Micro Press Molding of Borosilicate Glass Using Plated Ni-W Molds. Japanese Journal of Applied Physics. 2007, 46, 9B, 6378-6381

タイトルに関連する用語 (1件)： 解析