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J-GLOBAL ID：201002253203301314   整理番号：10A0450049

空気圧駆動ベローズアクチュエータと空気軸受を備えたシリンダを用いた粗動/微動デュアルステージの開発

Development of coarse/fine dual stage using pneumatically driven bellows actuator and cylinder with air bearings

著者 (5件)： KAWASHIMA Kenji (Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN) ,  ARAI Takeshi (Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN) ,  TADANO Kotaro (Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN) ,  FUJITA Toshinori (Tokyo Denki Univ., 2-2 Kanda-nishiki-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 101-8457, JPN) ,  KAGAWA Toshiharu (Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 34  号： 3  ページ： 526-533  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文で,空気圧アクチュエータを用いた一自由度の粗動/微動デュアル位置決めステージを開発した。粗動運動は空気軸受を備えた空気圧シリンダを利用する。微動運動は空気圧ベローズにより駆動されるアクチュエータを利用する。開発した高性能空気圧サーボ弁は300Hzまでの高い動特性を有し,粗動ステージの制御に用いる。微動ステージはノズルフラッパ型サーボ弁で制御する。微動ステージを粗動ステージ上に設置した。提案した粗動/微動デュアルステージは空気圧で駆動するので,低い熱発生と非磁気の利点を有し,超精密位置決め用に適する。デュアルステージの制御法を提案した。実験結果,定常状態誤差は,粗動ステージで100mm行程に対して5μm以下で,微動ステージでは20nmに小さくしたことを立証した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *舞台 ,  空気圧制御 ,  ベローズ ,  アクチュエータ ,  空気圧シリンダ ,  空気軸受 ,  位置決め ,  弁 ,  サーボ弁 ,  空気圧アクチュエータ ,  ノズルフラッパ
準シソーラス用語： *ステージ

分類 (1件)： 運動機構  (QB01080K)

タイトルに関連する用語 (9件)： 空気圧駆動 ,  ベローズ ,  アクチュエータ ,  空気軸受 ,  シリンダ ,  微動 ,  デュアル ,  ステージ ,  開発