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J-GLOBAL ID:201002254034886789   整理番号:10A0710837

ジアゾ/PVAレジストへのクリプタンドの応用

Application of Cryptand to Diazo/PVA Resists
著者 (8件):
資料名:
巻: 23  号:ページ: 413-416  発行年: 2010年 
JST資料番号: L0202A  ISSN: 0914-9244  CODEN: JSTEEW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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p-置換ベンゼンジアゾ化合物(SBD)と[2.2.2]-クリプタンド(CRP)との光反応と熱反応を,UVスペクトルと分解温度(D.T.)で研究した。p-クロロベンゼンジアゾ化合物(ClBD)のジアゾカチオンがCRP窒素原子の孤立電子対と反応することをUVスペクトルデータで確認した。CRPを加えると,電子吸引置換基(WSBD)をもつSBDと電子供与置換基(DSBD)をもつSBDの光分解速度はそれぞれ,CRP無しの場合に比べて2倍および10倍に加速した。固相でのCRPを含むWSBDのD.T.はCRP無しの場合よりも低かったが,CRPを含むDSBDのD.T.はCRP無しの場合と同じであった。CRPを含むジフェニルアミン-4-ジアゾニウム硫酸塩/ホルムアルデヒド縮合物(DSR)/ポリビニルアルコール(PVA)レジストの光分解速度は,CRP無しの場合よりも3倍大きかった。CRPを含むジアゾ/PVAレジストは熱安定性を減ずることなく感度を改善する可能性がある。(翻訳著者抄録)
シソーラス用語:
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分類 (2件):
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