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J-GLOBAL ID：201002255043641434   整理番号：10A1074004

トリエチルアミンボランを用いて低圧化学蒸着法LPCVDによって生成したBC_xN_yの分析的特性化

Analytical characterization of BC_xN_y films generated by LPCVD with triethylamine borane

著者 (9件)： BAAKE Olaf (Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU) ,  HOFFMANN Peter S. (Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU) ,  KOSINOVA Marina L. (Nikolaev Inst. Inorganic Chemistry, RAS, Novosibirsk, RUS) ,  KLEIN Andreas (Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU) ,  POLLAKOWSKI Beatrix (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin, DEU) ,  BECKHOFF Burkhard (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin, DEU) ,  FAINER Nadeshda I. (Nikolaev Inst. Inorganic Chemistry, RAS, Novosibirsk, RUS) ,  TRUNOVA Valentina A. (Nikolaev Inst. Inorganic Chemistry, RAS, Novosibirsk, RUS) ,  ENSINGER Wolfgang (Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU)
資料名： Analytical & Bioanalytical Chemistry  (Analytical & Bioanalytical Chemistry)
巻： 398  号： 2  ページ： 1077-1084  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： E0425B  ISSN： 1618-2642  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭窒化ほう素BC_xN_yの半導体材料,超硬質セラミックス材料が注目されている。本研究では,トリエチルアミンボラン錯体((C₂H₅)₃MBH₃(TEAB)とNH₃を前駆体として利用して低圧化学蒸着法(LPCVD)によってBC_xN_yのナノ層を合成した。NH₃の有無による影響をそれぞれの生成物のX線光電子分光法(XPS),シンクロトロン放射全反射X線蛍光分析-X線吸収端近傍微細構造分光法(TXRF-NEXAFS)の分析結果から議論した。単一源前駆体としてのTEABとトリメチルアミンボランの比較も行った。

シソーラス用語： *LPCVD ,  ホウ素錯体 ,  *ボラン誘導体 ,  半導体材料 ,  X線光電子分光法 ,  シンクロトロン放射 ,  蛍光X線分析 ,  XANES ,  *ホウ素化合物 ,  *炭化物 ,  *窒化物 ,  脂肪族アミン ,  第三アミン
準シソーラス用語： NEXAFS ,  *炭窒化ホウ素

分類 (2件)： 無機化合物の物理分析  (CC03024P) ,  塩  (CD01050V)

物質索引 (1件)： トリエチルアミン

引用文献 (30件)：

• Liu AY, Cohen ML (1989) Science 245:841-842
• Tateyama Y, Ogitsu T, Kusakabe K, Tsuneyuki S, Itoh S (1997) Phys Rev B 55:10161-10164
• Liu AY, Wentzcovich RM, Cohen ML (1989) Phys Rev B 39:1760-1765
• Lambrecht WRL, Segall B (1993) Phys Rev B 47:9289-9296
• Abdul Mannan M, Nagano M, Kida T, Hirao N, Baba Y (2009) J Phys Chem Solids 70:20-25

タイトルに関連する用語 (3件)： 低圧化学蒸着法 ,  LPCVD ,  特性化