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J-GLOBAL ID：201002275107253159   整理番号：10A0186992

大気圧で作動する棒構造を有する新静電駆動音叉の微細加工ジャイロスコープ

A novel electrostatic-driven tuning fork micromachined gyroscope with a bar structure operating at atmospheric pressure

著者 (4件)： CHE Lufeng (Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN) ,  XIONG Bin (Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN) ,  LI Yufang (Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN) ,  WANG Yuelin (Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 1  ページ： 015025,1-6  発行年： 2010年01月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 小型,低コスト,量産に適するなどの特長を有する標記ジャイロスコープをシリコン-ガラス接合とDRIE技術により製作した。ジャイロスコープの駆動質量とセンシング試験質量は多数の可動棒で構成する。可動試験質量の運動は,ガラス基板上の固定駆動電極とセンシング電極の平面に平行であるので,駆動方向とセンシング方向で主に滑り膜減衰があり,高品質因子と無真空パッケージングの達成を可能とする。ジャイロスコープは静電駆動と静電センシングにより大気圧で作動できる。ジャイロスコープの性能を試験した結果,駆動モードとセンソングモードの共振周波数と品質因子は,大気圧でそれぞれ2.873kHzと2.989kHz,804と789であった。また,ジャイロスコープのスケール因子と非線形性は,それぞれ17.45mV/°/sと0.43%であった。

シソーラス用語： *ジャイロスコープ ,  *音叉 ,  *RIE【エッチング】 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  固体素子 ,  品質特性 ,  スケール因子 ,  非線形性
準シソーラス用語： *DRIE ,  ガラス基板 ,  品質因子

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  音響の励起・発生  (BB03020V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧 ,  棒 ,  静電駆動 ,  音叉 ,  微細加工 ,  ジャイロスコープ