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J-GLOBAL ID：201002276676630277   整理番号：10A0537233

ナノメートルの空間分解能を持つ新たに開発した三次元輪郭スキャナ

A newly developed three-dimensional profile scanner with nanometer spatial resolution

著者 (4件)： SHINNO H. (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  YOSHIOKA H. (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  GOKAN T. (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  SAWANO H. (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
資料名： CIRP Annals. Manufacturing Technology  (CIRP Annals. Manufacturing Technology)
巻： 59  号： 1  ページ： 525-528  発行年： 2010年 
JST資料番号： E0026A  ISSN： 0007-8506  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 三次元(3D)の微小寸法形状や大きな領域での表面トポグラフィーにおける特性化の要求が,最近は多くの産業で増えている。本報では新たに開発した,ナノメートルの空間分解能を備える3Dプロフィル測定機械を示した。開発した機械は,下記(能動制御式の防振システム,ボイスコイルモータで駆動される平面用のナノ・モーションテーブルシステム,ハイブリッドアクチュエータで駆動される垂直用のナノ・モーションプラットフォーム,走査トンネル顕微鏡法の原理に基づくプロービングシステム)から構成される。性能評価結果は,この機械が成功裏に微小寸法形状や表面トポグラフィーの特性化を実施可能なことを確証した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 特徴抽出 ,  プローブ ,  *形状測定 ,  三次元測定 ,  空間分解能 ,  *計測システム ,  測定精度
準シソーラス用語： 輪郭抽出 ,  3次元プローブ ,  三次元形状測定 ,  *三次元測定機 ,  ナノメータ

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 空間分解能 ,  開発 ,  輪郭 ,  スキャナ