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J-GLOBAL ID：201002283482265191   整理番号：10A0133934

超微細インクジェット印刷機を用いたテラヘルツ平面メタ材料の作製

Fabrication of Terahertz Planar Metamaterials Using a Super-Fine Ink-Jet Printer

著者 (11件)： TAKANO Keisuke (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  KAWABATA Taku (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  HSIEH Cho-Fan (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  AKIYAMA Koichi (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  MIYAMARU Fumiaki (Shinshu Univ., Nagano, JPN) ,  MIYAMARU Fumiaki (JST-PRESTO, Sendai, JPN) ,  ABE Yuji (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  TOKUDA Yasunori (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  PAN Ru-Pin (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  PAN Ci-Ling (National Tsing-Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  HANGYO Masanori (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 3  号： 1  ページ： 016701.1-016701.3  発行年： 2010年01月25日 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超微細インクジェット印刷機を用いてテラヘルツメタ材料を作製した。銀ペーストインクを用いて銀薄膜を作製し,薄膜がテラヘルツ周波数領域で良導体として振舞うことを確認した。次に,金属線格子構造やスプリットリング共振器のようなテラヘルツメタ材料を高感度珪素基板上に印刷した。印刷した試料のテラヘルツ応答は構造から予想されるものと一致した。超微細インクジェット印刷は高速性,単純性,柔軟性,十分な確度を有し,テラヘルツメタ材料作製の理想的方法の一つである。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *インクジェット印刷 ,  印刷機械 ,  電磁波 ,  *人工材料 ,  金属線 ,  リング共振器 ,  微細構造 ,  マイクロマシニング ,  *パターン形成 ,  テラヘルツ波
準シソーラス用語： テラヘルツ ,  *メタ材料 ,  スプリットリング共振器 ,  *微細パターン形成

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (24件)：

• CHEN, H.-T. Nature. 2006, 444, 597
• CHEN, H.-T. Nat. Photonics. 2009, 3, 148
• LANDY, N. I. Phys. Rev. Lett. 2008, 100, 207402
• TONOUCHI, M. Nat. Photonics. 2007, 1, 97
• MURATA, K. Microsyst. Technol. 2005, 12, 2

タイトルに関連する用語 (5件)： 超微細 ,  インクジェット印刷機 ,  テラヘルツ ,  メタ材料 ,  作製