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J-GLOBAL ID：201002293410179113   整理番号：10A0366280

衝突放射模型での分光法的診断によるマイクロ波放射プラズマ中の電子エネルギー分布関数の評価

Evaluation of Electron Energy Distribution Function in Microwave Discharge Plasmas by Spectroscopic Diagnostics with Collisional Radiative Model

著者 (4件)： MIZUOCHI Jun (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  SAKAMOTO Takeshi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  MATSUURA Haruaki (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  AKATSUKA Hiroshi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 3,Issue 1  ページ： 036001.1-036001.14  発行年： 2010年03月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 励起状態の個数分布に関する電子エネルギー分布関数の効果(EEDF)が1-5Torrの放出圧力で2.45GHzのマクロ波によって維持されたHeとArプラズマで研究される。EEDFがDruyvesteyn法によってLangmuirプローブで測定され,衝突放射(CR)模型計算の入力パラメータとして使用される。計算された励起状態の個数密度は光学的放出分光法的測定の結果と比較される。それらの間の合理的一致が見出される。それはまた,測定されたEEDFが放出ガス原子の最初の励起ポテンシャル以上のエネルギーで激減した。筆者らはマックスウェルEEDFを仮定し,アルゴンプラズマの励起状態の個数分布を計算するとき,筆者らは実験的に観測された励起状態の個数密度とCR模型によって計算されたそれらとの間の著しい差異を見出すが,一方では,ヘリウムプラズマの差異は差異が少ないことを見出す。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *放射 ,  *スペクトロスコピー ,  *電磁波放射 ,  *プラズマ ,  *分布関数 ,  *励起状態 ,  *Langmuir探針 ,  *衝突 ,  アルゴン ,  ヘリウム
準シソーラス用語： 分光法 ,  マイクロ波放射 ,  電子エネルギー分布関数 ,  Langmuirプローブ ,  衝突放射模型

分類 (1件)： 電子との衝突・散乱  (BH04030F)

引用文献 (29件)：

• T. Fujimoto: Plasma Spectroscopy (Oxford Science, Oxford, U. K., 2004).
• J. Vléek: J. Phys. D 22(1989)623.
• A. Bogaerts, R. Gijbels, and J. Vlček: J. Appl. Phys.84(1998)121.
• L. L. Alves, G. Gousset, and C. M. Ferreira: J. Phys. D 25(1992)1713.
• A. Böhle and U. Kortshagen: Plasma Sources Sci. Technol.3(1994)80.

タイトルに関連する用語 (9件)： 衝突 ,  放射 ,  模型 ,  分光法 ,  診断 ,  マイクロ波放射 ,  プラズマ ,  電子エネルギー分布関数 ,  評価