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J-GLOBAL ID：201002293775331321   整理番号：10A1542938

分子輸送を制御するためのナノ構造珪素膜

Nanostructured silicon membranes for control of molecular transport

著者 (4件)： SRIJANTO Bernadeta R. (Biosciences Div. and Center for Nanophase Materials Sciences Div., Oak Ridge National Lab., P.O. Box 2008, Oak Ridge ...) ,  RETTERER Scott T. (Biosciences Div. and Center for Nanophase Materials Sciences Div., Oak Ridge National Lab., P.O. Box 2008, Oak Ridge ...) ,  FOWLKES Jason D. (Biosciences Div. and Center for Nanophase Materials Sciences Div., Oak Ridge National Lab., P.O. Box 2008, Oak Ridge ...) ,  DOKTYCZ Mitchel J. (Biosciences Div. and Center for Nanophase Materials Sciences Div., Oak Ridge National Lab., P.O. Box 2008, Oak Ridge ...)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 28  号： 6  ページ： C6P48  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 分子種の選択輸送を可能にする膜はナノ規模の精密技術を必要とする。膜透過は細孔の物理的構造及び表面化学を制御して調整できる。本研究では,電子ビームリソグラフィー,光リソグラフィー,超低温深部反応性イオンエッチング(RIE)を用いて,物理的に頑健で,細孔径が均一な,微小流体素子ネットワークに直接集積できる珪素膜を作製した。膜表面を被覆するための二酸化珪素の原子層堆積とプラズマ増強化学蒸着を用いて細孔径をさらに縮小した。集束イオンビームミリングを用いて膜の断面を切り(cross sectioning),被覆前後の膜細孔の物理的形状を決定した。膜を横断する分子種の輸送を立証するために,蛍光定量顕微鏡法を用いて膜の機能を特性化した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ナノ構造 ,  *輸送 ,  界面化学 ,  電子ビームリソグラフィー ,  フォトリソグラフィー ,  RIE【エッチング】 ,  フルイディクス ,  化学蒸着 ,  プラズマCVD ,  細孔径 ,  細孔 ,  *ケイ素 ,  膜透過 ,  *選択透過膜 ,  イオンエッチング ,  マイクロフルイディクス
準シソーラス用語： *分子輸送 ,  表面化学 ,  微小流体素子 ,  原子層堆積 ,  ナノ細孔

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 分子輸送 ,  ナノ構造 ,  珪素膜