特許
J-GLOBAL ID:201003000918339333
外観検査装置及び外観検査用の光学装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
藤井 紘一
, 藤井 健一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-113366
公開番号(公開出願番号):特開2010-261837
出願日: 2009年05月08日
公開日(公表日): 2010年11月18日
要約:
【課題】被検物の上面部又は下面部と側面部からの反射像を導き1台の撮像装置で撮像し、被検物の外周面を高精度で検査できる、光学外観検査装置を提供する。【解決手段】搬送する被検物を撮像装置で撮像して検査する外観検査用の光学装置において、被検物Tを一列に整列して搬送する搬送手段6に、搬送手段6により搬送する被検物Tの上面部又は下面部から直交する反射光を撮像装置40へと導く第1の光導手段20と、該第1の光導手段とは離れた検査位置にて、該被検物Tの一側面部とその反対側の他側面部とからの反射光を、搬送手段6の搬送方向に対して搬送平面の所定角度で入射して撮像装置40へとそれぞれ導く第2と第3の光導手段30とが備えられ、これらの反射光を第1の光導手段20と第2及び第3の光導手段30とを通して撮像装置40の走査軸上に導き、被検物Tのそれぞれの反射像を同一撮像面に結像する外観検査装置に用いられる光学装置である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
搬送する被検物を撮像装置で撮像し画像処理して検査する外観検査装置に用いられる光学装置において、
前記被検物を一列に整列し一定速度で搬送する搬送手段に、該搬送手段により搬送する被検物の上面部又は下面部からの搬送平面に直交する反射光を前記撮像装置へと導く第1の光導手段と、該第1の光導手段とは離れた検査位置にて、前記被検物の一側面部とその反対側の他側面部とからの反射光を、該搬送手段の搬送方向に対し搬送平面の所定角度で入射して該撮像装置へとそれぞれ導く第2及び第3の光導手段とが備えられ、前記第1の光導手段と前記第2及び第3の光導手段とを通し、前記被検物のそれぞれの反射像を前記撮像装置の走査軸上に導いて同一撮像面に結像することを特徴とする外観検査用の光学装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (11件):
2G051AA02
, 2G051AB03
, 2G051BA02
, 2G051BB20
, 2G051CA03
, 2G051CA06
, 2G051CB01
, 2G051CC11
, 2G051CC17
, 2G051DA06
, 2G051DA13
引用特許: