2-Dおよび表面凹凸形状の同時検査のための方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：北澤一浩 , 小泉伸 , 市川朗子 , 立石博臣
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-500370
公開番号（公開出願番号）：特表2006-515676
出願日： 2004年01月09日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：

表面に関する情報を検出する装置は、表面についての2次元情報を取得するように配置される第1の複数の光学要素と、表面についての表面凹凸形状情報を取得するように配置される第2の複数の光学要素とを備え、第1の複数の光学要素、および、第2の複数の光学要素は、単一センサアレイの少なくとも部分的に重ならない部分に、2次元情報および表面凹凸形状情報を同時に提供するように配置される。

請求項（抜粋）：

表面に関する情報を検出する装置であって、表面についての2次元情報を取得するように配置される第1の複数の光学要素と、前記表面についての表面凹凸形状情報を取得するように配置される第2の複数の光学要素とを備え、前記第1の複数の光学要素、および、前記第2の複数の光学要素は、単一センサアレイの少なくとも部分的に重ならない部分に、前記2次元情報および前記表面凹凸形状情報を同時に提供するように配置されることを特徴とする表面に関する情報を検出する装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , G01N 21/956

FI (2件)：

G01B11/24 K , G01N21/956 B

Fターム (34件)：

2F065AA24 , 2F065AA49 , 2F065AA53 , 2F065CC01 , 2F065FF04 , 2F065FF09 , 2F065GG06 , 2F065GG13 , 2F065GG23 , 2F065HH04 , 2F065HH08 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL08 , 2F065LL10 , 2F065LL20 , 2F065LL30 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065LL51 , 2G051AA65 , 2G051AB14 , 2G051BA01 , 2G051BA08 , 2G051BA10 , 2G051BA11 , 2G051BB01 , 2G051BB02 , 2G051BB11 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051CC11 , 2G051DA07

引用特許：

審査官引用 (8件)

対象物を検査する方法と装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-593911 出願人：マイデータオートメーションアクチボラグ
光式センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-192892 出願人：オムロン株式会社
特開昭64-009304

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