特許
J-GLOBAL ID：201003000969465074

基板処理装置

発明者：
水口 靖裕

水口 靖裕 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-281185
公開番号（公開出願番号）：特開2010-109235
出願日： 2008年10月31日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
要約：
【課題】同一軸で連続動作を行う際に、速度変更が必要な場合でも上位コントローラから1回のコマンドにより、モーションコントローラ側で途中停止しないで速度変更を実施できる機能を有する基板処理装置を提供する。 【解決手段】予め上位コントローラ701からダウンロードされた速度や位置を設定するためのパラメータを保持しておき、搬送ユニットの動作時に、該搬送ユニットの位置を監視し、所定の位置に達したら速度を変更するモーションコントローラ706を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板に処理を施すためのプロセス制御や基板の搬送を行うための搬送制御を行う各種サブコントローラを制御する制御部と、前記基板に処理を施す処理ユニットの状態や前記基板を搬送するために使用される搬送ユニットの状態やこれらの動作を検出するセンサの状態をモニタ表示する操作部と、を設けたメインコントローラと、 予め前記メインコントローラからダウンロードされた速度と位置を設定するためのパラメータを保持しておき、前記搬送ユニットの動作時に、前記搬送ユニットの位置を監視し、所定の位置に達したら速度を変更するモーションコントローラと、 を有する基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/30 572A
Fターム (11件)：
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031HA01 ,  5F031HA33 ,  5F031NA05 ,  5F031PA02 ,  5F046MA12 ,  5F046MA19
引用特許：
審査官引用 (3件)

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