特許
J-GLOBAL ID：201003001366971990
極端紫外光光源装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 吉雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-081484
公開番号（公開出願番号）：特開2010-232150
出願日： 2009年03月30日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：
【課題】回転する電極の回転速度を速くすることなく、高い繰り返し周波数で、安定してスズを放電領域に供給し、EUVの安定した発光が可能な極端紫外光光源装置を提供する。【解決手段】周辺部を対向して配置した第1および第2の円盤状の放電電極と、上記第1および第2の放電電極を、それぞれの円の中心を回転中心として回転させる電極回転手段と、上記放電電極にパルス電力を供給するパルス電力供給手段と、上記第1および第2の放電電極上に、極端紫外光を放射させるための液体または固体の原料を供給する原料供給手段と、上記放電電極上に供給された上記原料に対しエネルギービームを照射し、当該原料を気化させて上記一対の放電電極間で放電を開始させるエネルギービーム照射手段とを備えた極端紫外光光源装置において、エネルギービームを、上記第1の電極と第2の電極上の上記原料に対して、あらかじめ設定した周波数で交互に照射する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
周辺部を対向して配置した第1および第2の円盤状の放電電極と、上記第1および第2の放電電極を、それぞれの円の中心を回転中心として回転させる電極回転手段と、上記放電電極にパルス電力を供給するパルス電力供給手段と、上記第1および第2の放電電極上に、極端紫外光を放射させるための液体または固体の原料を供給する原料供給手段と、上記放電電極上に供給された上記原料に対しエネルギービームを照射し、当該原料を気化させて上記一対の放電電極間で放電を開始させるエネルギービーム照射手段とを備えた極端紫外光光源装置において、
上記極端紫外光光源装置は、上記エネルギービーム照射手段からのエネルギービームを、上記第1の電極と第2の電極上の上記原料に対して、あらかじめ設定した周波数で上記第1の電極と第2の電極に対して交互に照射する制御部を備えることを特徴とする極端紫外光光源装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
4C092AA06
, 4C092AA15
, 4C092AB10
, 4C092AC09
, 4C092BD18
, 4C092BD20
