特許

J-GLOBAL ID：201003004849956185

スピンヘッド

発明者： イ,テク ユーブ
出願人/特許権者： セメス カンパニー リミテッド
代理人 (1件)： 高岡 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-268565
公開番号（公開出願番号）：特開2010-130019
出願日： 2009年11月26日
公開日（公表日）： 2010年06月10日
要約：

【課題】基板をより安定的に支持できるスピンヘッドを提供する。【解決手段】本発明によるスピンヘッドは、支持板と、基板の側面を支持するように前記支持板に設置される複数のチャックピンと、前記支持板の中心から外側に向かう第1方向と垂直な第2方向に沿って前記チャックピンを移動させるチャックピン移動ユニットを包含することを特徴とする。このような特徴によると、支持板の回転による遠心力がチャックピンに及ぶ影響を最小化して基板を安定的に支持できるスピンヘッドを提供できる。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

スピンヘッドであって、 支持板と、 基板の側面を支持するように前記支持板に設置される複数のチャックピンと、 前記支持板の中心から外側に向かう第1方向と垂直な第2方向に沿って前記チャックピンを移動させるように構成されたチャックピン移動ユニットと、 を包含することを特徴とするスピンヘッド。

IPC (3件)：

H01L 21/683 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

H01L21/68 N ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/304 648Z ,  H01L21/306 J

Fターム (21件)：

5F031CA02 ,  5F031HA24 ,  5F031HA59 ,  5F031MA26 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043EE35 ,  5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157BB24 ,  5F157CB14 ,  5F157CB15 ,  5F157CC02 ,  5F157CF20 ,  5F157CF32 ,  5F157CF60 ,  5F157CF72 ,  5F157DC00 ,  5F157DC84

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ウエハ交換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-261871   出願人：株式会社日平トヤマ
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-199261   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-213733   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 基板回転処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-237262   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

審査官引用 (4件)

• ウエハ交換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-261871   出願人：株式会社日平トヤマ
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-199261   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-213733   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 基板回転処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-237262   出願人：大日本スクリーン製造株式会社