ウェーハケース

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：安倍逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-117398
公開番号（公開出願番号）：特開2010-265004
出願日： 2009年05月14日
公開日（公表日）： 2010年11月25日
要約：

【課題】高いシール性を確保し、ケース素材を原因とした半導体ウェーハの有機物汚染を解消可能で、航空輸送時の気圧変化によるウェーハやケースの変形、破損を防止できるウェーハケースを提供する。【解決手段】各金属製の容器本体と蓋とを、第1,第2の波形シール部を有したシール構造で密閉するウェーハケースとし、第1,2の波形シール部を含む容器本体および蓋の各シール面の表面粗度を0.8S〜1.6Sとした。そのため、高いシール性を確保しながら、ウェーハケースの素材を原因とした半導体ウェーハの有機物汚染を解消できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数枚の半導体ウェーハが収納される金属製の容器本体と、前記各半導体ウェーハの間に装填され、該各半導体ウェーハを前記容器本体の厚さ方向に所定間隔で保持する金属製のスペーサと、前記各半導体ウェーハより大径な円板で、かつ該スペーサを介して積層された複数枚の半導体ウェーハを、前記容器本体の厚さ方向の両側方から挟み込む中底板および中上板と、前記容器本体の開口部をシール構造を介して密閉する金属製の蓋とを備え、前記シール構造は、前記蓋に当接される前記容器本体のシール面に形成され、かつ環状の山部と環状の谷部とが前記ウェーハケースの内外方向へ交互に連続する第1の波形シール部と、前記容器本体に当接される前記蓋のシール面に形成され、かつ前記第1の波形シール部の前記山部または前記谷部に噛合可能な環状の山部と環状の谷部とが、前記ウェーハケースの内外方向へ交互に連続する第2の波形シール部とを有し、前記第1の波形シール部を含む前記容器本体のシール面の表面粗度と、前記第2の波形シール部を含む前記蓋の表面粗度とを、0.8S〜1.6Sとしたウェーハケース。

IPC (4件)：

B65D 85/86 , H01L 21/673 , B65G 49/07 , B65D 57/00

FI (4件)：

B65D85/38 R , H01L21/68 T , B65G49/07 L , B65D57/00 B

Fターム (45件)：

3E066AA12 , 3E066CA11 , 3E066GA11 , 3E066GA20 , 3E066HA05 , 3E066JA04 , 3E066KA20 , 3E066LA01 , 3E066MA09 , 3E066NA43 , 3E066NA60 , 3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA02 , 3E096CB03 , 3E096DA02 , 3E096DA03 , 3E096DA09 , 3E096DA17 , 3E096DA25 , 3E096DA30 , 3E096EA06X , 3E096EA06Y , 3E096FA03 , 3E096FA09 , 3E096FA10 , 3E096FA19 , 3E096FA22 , 3E096GA03 , 3E096GA07 , 3E096GA10 , 3E096GA11 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA10 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031EA19 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA09 , 5F031FA13 , 5F031PA13 , 5F031PA20

引用特許：

出願人引用 (4件)

金属製保管運搬容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-310578 出願人：株式会社住化分析センター
半導体基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-108974 出願人：富士通株式会社
精密基板収納容器のガスケット
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-124448 出願人：株式会社大八化成, プラネット株式会社, シルトロニック・ジャパン株式会社

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