水分量測定方法及び水分量測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：一徳和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-294457
公開番号（公開出願番号）：特開2010-121998
出願日： 2008年11月18日
公開日（公表日）： 2010年06月03日
要約：

【課題】樹脂フィルムFの表面に処理を施す処理装置内を搬送中の樹脂フィルムFに含まれている水分の量を正確に測定するのに好適な水分量測定方法を提供する。【解決手段】水分量測定装置50は、上記の第1波長をもつ測定光L1と、上記の第2波長をもつ参照光L2とを樹脂フィルムFに照射する照射部80と、樹脂フィルムFを透過し終わった測定光L1と参照光K2が受光される受光部90とを備えている。また、水分量測定装置50は、樹脂フィルムFに照射された測定光L1と参照光L2を樹脂フィルムFに透過させる反射鏡ユニット60と、受光部90が受光した測定光L1及び参照光L2双方の吸光度に基づいて樹脂フィルムFが含有する水分の量を演算する演算器100とを備えている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

水分子に吸収される第1波長をもつ測定光と、水分子に吸収されない第2波長をもつ参照光とを樹脂フィルムに照射して、この樹脂フィルムが含有する水分の量を測定する水分量測定方法において、前記測定光と前記参照光を略同じ光路を経由させて、搬送中の樹脂フィルムに照射して透過させ、前記樹脂フィルムを透過した前記測定光及び前記参照光双方の吸光度に基づいて前記樹脂フィルムが含有する水分の量を測定することを特徴とする水分量測定方法。

IPC (1件)：

G01N 21/35

FI (1件)：

G01N21/35 B

Fターム (13件)：

2G059AA01 , 2G059BB10 , 2G059CC09 , 2G059EE01 , 2G059EE11 , 2G059FF09 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ13 , 2G059JJ17 , 2G059KK01 , 2G059LL03 , 2G059MM12

引用特許：

出願人引用 (9件)

有機材料-金属間の接着の改良方法、ポリイミドフイルム、可撓性電子パツケージ及びロール・スパツタ・システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-080683 出願人：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイシヨン
赤外線水分測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-059134 出願人：日本たばこ産業株式会社
特開平4-058139

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審査官引用 (9件)

特開平4-058139
特開平4-058139
赤外線水分計
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-132625 出願人：堤陽太郎

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