特許
J-GLOBAL ID：201003009745314957
基板検査治具及び接触子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 秀明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-246549
公開番号（公開出願番号）：特開2010-078432
出願日： 2008年09月25日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：
【課題】製作と保守が容易な基板検査治具及びその基板検査治具に用いられる接触子を提供する。【解決手段】接触子2は、導電性で長尺の棒状部材21と、他方側に配置される大径部22と、棒状部材21に貫通されるコイルばね23と、棒状部材21の他端を内側に収納する円筒部材で、他端側が先細形状の接続端子24からなる。接触子保持体3は、接触子2の一端を被検査基板の検査点へ案内する案内孔311と、他端を基板検査装置に接続される電極部41へ案内し、コイルばね23と接続端子24を収容する接続孔351を有し、接続孔351の径は、棒状部材21の径よりも大きく、大径部22の径よりも小さく形成されている第一孔331と、大径部22よりも径が大きい第二孔332からなり、案内孔311のピッチは電極部41のピッチより小さい。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置と該被検査基板の配線パターンに設けられている複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査治具であって、
前記基板検査治具は、
両端に電気的導通を図る端部を有し、一方の端部が前記検査点に圧接される導電性を有する接触子を複数備える接触子群と
前記接触子群を保持する接触子保持体と
前記接触子群の夫々の接触子の他方の端部と対向して配置された電極部を備える、前記基板検査装置に接続される電極体を有し、
前記接触子は、
導電性で長尺の棒状部材と、
前記棒状部材の他方側に配置される該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、
前記大径部より他方側に、前記棒状部材に貫通されるコイルばねと、
前記棒状部材の他端を内側に収納する円筒部材で、他端側が先細形状の接続端子を有し、
前記接触子保持体は、
前記接触子の一端を前記被検査基板の検査点へ案内する案内孔と、
前記接触子の他端を前記電極部へ案内し、前記コイルばねと前記接続端子を収容する接続孔を有し、
前記接続孔の径は、前記棒状部材の径よりも大きく、前記大径部の径よりも小さく形成されている第一孔と、第一孔と連通連結される前記大径部よりも径が大きい第二孔からなり、
前記案内孔のピッチは前記接続孔のピッチより小さいことを特徴とする基板検査治具。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R1/073 D
, G01R31/26 J
, H01L21/66 B
2G003AE03
, 2G003AG03
, 2G003AG12
, 2G003AH04
, 2G011AA03
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AB03
, 2G011AB04
, 2G011AB07
, 2G011AC14
, 2G011AE01
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106CA01
, 4M106DD04
, 4M106DD09
, 4M106DD10
