特許
J-GLOBAL ID：200903039031977532

プローブ、このプローブを用いたプローブユニット、このプローブユニットを用いたプローブカード及びプローブユニットの製造方法

発明者：
大久保 昌男

大久保 昌男 について

, 
文 光中

文 光中 について


出願人/特許権者：
日本電子材料株式会社

日本電子材料株式会社 について


代理人 (2件)： 大西 正夫 ,  大西 孝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-201700
公開番号（公開出願番号）：特開2008-026248
出願日： 2006年07月25日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【目的】 狭ピッチ配置に対応可能で、スプリングが歪まず、確実な測定が可能で、破損したプローブの部品交換を容易にする。【構成】 プローブ100 と、プローブ100 をプローブカードに取り付けるプローブ支持部200 とを備え、プローブ支持部200 は、測定対象物たる半導体集積回路810 の電極パッド811 の配置パターンに対応した第1の開口211 が開設された第1のガイド板210 と、前記配置パターンに対応した第2の開口221 が開設された第2のガイド板220 と、両ガイド板210,220 を平行に連結するスペーサ230 とを有し、第1のガイド板210の厚さ寸法はプローブ100 のフランジ部113 から接触部111 の先端までの長さ寸法より小さく、第1の開口211 は接触部111 より径大でフランジ部113 より径小で、第2の開口221 はガイド管130 より径大でスプリング120 より径大で、両ガイド板210,220 の間の距離はフランジ部113 から接続部112 の先端までの長さ寸法より小さい。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
一端が測定対象物の電極パッドに接触する接触部、他端がガイド管の内壁に接続される接続部となり、前記接触部と接続部との間にフランジ部が設けられたプローブ本体と、このプローブ本体の接続部側から挿入されて、前記フランジ部に接触するスプリングと、前記プローブ本体の接続部側から挿入され、前記スプリングに接触するガイド管とを具備しており、前記プローブ本体及びガイド管は、導電性材料から構成されており、自然長状態にあるスプリングは、前記フランジ部から接続部までの長さ寸法より小さく設定され、自然長状態にあるスプリングにプローブ本体が挿入された状態で、前記ガイド管をプローブ本体の接続部に挿入すると、前記ガイド管は完全にはプローブ本体の接続部に挿入されないことを特徴とするプローブ。
IPC (4件)：
G01R 1/067 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01R1/067 C ,  G01R1/073 E ,  G01R31/26 J ,  H01L21/66 B
Fターム (21件)：
2G003AG03 ,  2G003AG04 ,  2G003AG12 ,  2G003AH07 ,  2G011AA02 ,  2G011AA16 ,  2G011AB01 ,  2G011AB04 ,  2G011AB05 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AB08 ,  2G011AC05 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (9件)
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