特許
J-GLOBAL ID：201003012975006454

液体供給システム

発明者：
鈴木 伸弥

鈴木 伸弥 について

, 
安江 博人

安江 博人 について

, 
鍋井 立視

鍋井 立視 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-204259
公開番号（公開出願番号）：特開2010-038322
出願日： 2008年08月07日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：
【課題】複数のユースポイントへ液体を分配供給する場合において、各ユースポイントへ供給する液体の流量変動を抑制することができる液体供給システムを提供する。【解決手段】本液体供給システムには、液体タンク内の液体を下流に供給するための供給ライン12が設けられており、供給ライン12には液体を複数の装置等に分配供給するための3本の分岐ラインLN1〜LN3が接続されている。供給ライン12において各分岐ラインLN1〜LN3との接続部位はそれぞれ分岐点C1〜C3となっている。本システムには供給ライン12の液体圧力を検出する圧力センサ33が設けられており、分岐点C2と分岐点C3との中間に当該圧力が検出される圧力検出位置Kが設定されている。そして、供給ライン12の圧力はその検出された圧力に基づいてフィードバック制御される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
液体を流通させる液体通路と、 該液体通路の途中に設けられ前記液体を圧送する圧送手段と、 前記液体通路から分岐させて設けられた複数の分岐通路と、 前記液体通路内における液体圧力を検出する圧力検出手段と、 を備え、前記複数の分岐通路を個別に開閉して当該分岐通路における液体の流通を許可又は禁止する一方、前記圧力検出手段により検出した液体圧力が目標値に一致するよう圧力調整用アクチュエータの操作により圧力フィードバック制御を実施する液体供給システムにおいて、 前記圧力検出手段により液体圧力が検出される圧力検出位置が、前記液体通路において前記複数の分岐通路の各分岐点のうち最も上流側に位置する最上流分岐点と最も下流側に位置する最下流分岐点との間に設定されていることを特徴とする液体供給システム。
IPC (3件)：
F17D 3/01 ,  B05C 11/10 ,  H01L 21/02
FI (3件)：
F17D3/01 ,  B05C11/10 ,  H01L21/02 Z
Fターム (9件)：
3J071AA11 ,  3J071BB02 ,  3J071EE01 ,  3J071EE24 ,  3J071FF11 ,  4F042AA07 ,  4F042CA01 ,  4F042CB02 ,  4F042CB18
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 液体供給システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-349611   出願人：シーケーディ株式会社
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM