特許
J-GLOBAL ID：201003015314117771
フレア計測用マスク、フレア計測方法、及び露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-043197
公開番号（公開出願番号）：特開2010-206199
出願日： 2010年02月26日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：
【課題】或る角度範囲のフレア情報を正確に計測できるフレア計測方法を提供する。【解決手段】投影光学系のフレア情報を計測する方法において、その投影光学系の物体面に、第1辺3Aaと、第1辺3Aaに対して所定角度Δφで傾斜する第2辺3Abと、第1辺3Aaの両端部と第2辺3Abの両端部とを連結する内径部3Ac及び外径部3Adとで囲まれる扇型パターン3Aを配置する工程と、扇型パターン3Aの像を投影光学系を介して投影する工程と、その扇型パターン3Aの像の光量とその像から離れた位置での光量との比に基づいてそのフレア情報を求める工程と、を含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1直線部と、前記第1直線部に対して所定角度で傾斜する第2直線部と、前記第1直線部の一端部と前記第2直線部の一端部とを連結する第1連結部とを有する開口パターンを少なくとも一つ備えるフレア計測用マスク。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 516C
, G03F1/08 D
, H01L21/30 531A
2H095BA01
, 2H095BB02
, 2H095BB32
, 2H095BC09
, 5F046AA25
, 5F046BA05
, 5F046DA01
, 5F046DB01
, 5F046GA03
, 5F046GA14
