特許

J-GLOBAL ID：201003017415910122

感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品

発明者： 岩下 健一 ,  峯岸 知典 ,  野北 里花
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-266824
公開番号（公開出願番号）：特開2010-096927
出願日： 2008年10月15日
公開日（公表日）： 2010年04月30日
要約：

【課題】硬化後の膜の物性が、高温で硬化したものと遜色ない性能が得られ、かつ金属配線や金属層などの銅及び銅合金の腐食を抑制する感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品を提供する。【解決手段】感光性樹脂組成物は、(a)一般式(1)で示される繰り返し単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体(式中、U又はVは2価の有機基を示し、U及びVの少なくとも一方が炭素数1〜30の脂肪族鎖状構造を含む基である。)と、(b)感光剤と、(c)溶剤と、及び(d)複素環状化合物、チオ尿素類及びメルカプト基を有する化合物からなる群から選択される少なくとも1種の化合物とを含有する。 【化1】【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1):

IPC (5件)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  C08G 73/22

FI (5件)：

G03F7/023 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08G73/22

Fターム (59件)：

2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096GA09 ,  2H096HA01 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA08 ,  4J043PA09 ,  4J043PA18 ,  4J043QB15 ,  4J043QB33 ,  4J043RA06 ,  4J043RA52 ,  4J043SA05 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA67 ,  4J043TA68 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB081 ,  4J043UB082 ,  4J043UB102 ,  4J043UB281 ,  4J043UB282 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043XA16 ,  4J043YA05 ,  4J043ZB22

引用特許：

出願人引用 (8件)

• 特開昭49-115541号公報
  
• 特開昭59-108031号公報
  
• 特開昭59-219330号公報
  
• 特開昭64-60630号公報
  
• 米国特許第4395482号明細書
  
• 特開昭63-001584号公報
  
• ポリイミドパターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-028986   出願人：東レ株式会社
• ポリイミド・パタ-ンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-008475   出願人：東レ株式会社

審査官引用 (2件)

• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-156849   出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-220419   出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社