特許
J-GLOBAL ID：200903088789010188
ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-220419
公開番号（公開出願番号）：特開2008-046258
出願日： 2006年08月11日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：
【課題】金属配線等の銅及び銅合金に対して腐食反応を引き起こさず、膜の密着性、感度の良好な電子材料用の感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品を提供する。【解決手段】ポジ型感光性樹脂組成物は、(A)下記一般式(I)【化1】(式中、Xは2価の有機基、Yは4価の有機基、R1は水素又は1価の有機基、mは2〜500の整数であり重合体の繰り返し単位数を表す。)で表される構造を有するポリベンゾオキサゾール前駆体と、(B)溶媒と、(C)テトラゾール誘導体と、及び(D)光により酸を発生する化合物とを含有する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(I)
IPC (3件)：
G03F 7/023
, C08G 73/22
, G03F 7/085
G03F7/023
, C08G73/22
, G03F7/085
2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025BG00
, 2H025BH02
, 2H025CB25
, 2H025CC06
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J043PA02
, 4J043PA04
, 4J043PA15
, 4J043PA19
, 4J043PB04
, 4J043QB34
, 4J043RA06
, 4J043RA52
, 4J043SA06
, 4J043SA71
, 4J043SB01
, 4J043TA12
, 4J043TB01
, 4J043TB03
, 4J043UA121
, 4J043UA122
, 4J043UB061
, 4J043UB122
, 4J043VA022
, 4J043VA061
, 4J043XB06
, 4J043YA06
, 4J043ZA06
, 4J043ZB22
出願人引用 (5件)
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特開昭54-109828号公報
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特開平4-204945号公報
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特公平1-40862号公報
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審査官引用 (3件)
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